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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

當前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>共聚焦顯微鏡>> VT6100中圖共聚焦激光顯微鏡

中圖共聚焦激光顯微鏡

參  考  價: 950000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號:VT6100

品       牌:中圖儀器

廠商性質:生產商

所  在  地:深圳市

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更新時間:2025-03-08 15:31:52瀏覽次數:1150次

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羅健

經理
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產地 國產 加工定制
CHOTEST中圖共聚焦激光顯微鏡VT6000系列以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,能測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。在相同物鏡放大的條件下,共焦顯微鏡所展示的圖像形態細節更清晰更微細,橫向分辨率更高。

在材料生產檢測領域中,共聚焦顯微鏡在陶瓷、金屬、半導體、芯片等材料科學及生產檢測領域中也具有廣泛的應用,如在半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


CHOTEST中圖共聚焦激光顯微鏡VT6000系列以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,能測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。在相同物鏡放大的條件下,共焦顯微鏡所展示的圖像形態細節更清晰更微細,橫向分辨率更高。

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產品功能

1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)設備具備自動拼接功能,能夠快速實現大區域的拼接縫合測量;

3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能;

4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;

5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現批量數據文件的快速分析功能;

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性能特點

自設計之初,CHOTEST中圖共聚焦激光顯微鏡便定下了“簡單好用"四字方針的目標。

1)結構簡單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內,亦可采用筆記本電腦驅動,實現了“拎著走"的便攜式設計;

2)真彩圖像:配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節的展現纖毫畢現;

3)操作便捷:采用全電動化設計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,實現了所見即所得的快速檢測效果;

4)采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

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應用領域

對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


技術指標

型號VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測量原理共聚焦光學系統
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度測量

重復性(1σ)12nm
精度± (0.2+L/100) μm
顯示分辨率0.5nm


寬度測量

性(1σ)40nm
精度± 2%
顯示分辨率1nm
XY位移平臺負載10kg
控制方式電動
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED


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